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Die Investition ein eine vakuumtechnische Beschichtungsanlage (sei es eine Sputteranlage oder eine Aufdampfanlage) ist immer eine Kapitalintensive Angelegenheit. Deswegen wird von der Anlage nicht nur eine hohe Produktivität und niedrige Ausfallquote, sondern auch eine lange Lebenszeit erwartet. Bei angemessener Wartung der Beschichtungsanlage sollte dies kein Problem sein. Eine lange Lebenszeit hat jedoch den “Nachteil”, das nach einige Jahren die Ausrüstung der Anlage nicht mehr dem aktuellen Stand der Technik entspricht und die Beschaffung von Ersatzteilen schwierig, bzw. unmöglich ist. Weiterhin entwickelt sich die Verfahrenstechnik weiter, so das hier oft der Wunsch nach einer Anpassung, bzw. Änderung entsteht. Dazu kommt, wie am Beispiel von Unaxis erfahren, das der Hersteller die Produktion bzw. den Service einstellt oder schlicht und ergreifend nicht mehr existiert. Hier ergibt sich nun die Möglichkeit, durch ein so genanntes Retrofit der Anlage dieser zu einem “zweiten Leben” zu verhelfen, was u.a. folgende Vorteile hat: Bei einem Retrofit kann man folgende Änderungen als einzelne Posten oder in einem Gesamtpaket durchführen: (Beispiel: Nachrüsten von HF- / DC-Bias, zusätzliche Stromversorgung für Simultanbetreib zweier Quellen)
Für die Beschichtungsanlagen folgender Hersteller kann ein Retrofit eine gute Wahl sein: Leybold Heraeus (LH), Leybold AG, Balzers Prozess Systeme (BPS), Unaxis und SenVac
Folgende Anlagentypen eignen sich vom Konzept her hervorragend für Um- und nachrüstungen, bzw. Retrofits: Inline-, Batch- und Loadlock-Anlagen der Typen:
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